3-6”单晶硅片
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规格 |
电阻率Ω·CM |
厚度μm |
晶向 |
期μs |
外径mm |
掺入剂 |
形态 |
功率电阻率径向不匀性 |
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线切成片 |
磨细片 |
倒角片 |
定位片 |
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3” |
0.001-55 | 200-350 | <111> | ＞100 | 76.2±0.3 | 磷/硼 | √ | √ | √ | √ | ≤20% |
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4” |
0.001-55 | 200-350 | <111> | ＞100 | 101.6±0.3 | 磷/硼 | √ | √ | √ | √ | ≤20% |
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5” |
0.001-55 | 200-350 | <111> | ＞100 | 125±0.3 | 磷/硼 | √ | √ | √ | √ | ≤20% |
