3-6”单晶硅棒
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规格 |
电阻率Ω·CM |
长短mm |
晶向 |
少子蓄电量μs |
外径mm |
夹杂剂 |
形态 |
径向阻值率发展 |
氧含量（atoms/cm³） |
碳含量（atoms/cm³） |
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磨光棒 |
追踪定位棒 |
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3” |
0.001-55 | 会按照业主追求 | <111> | ＞100 | 76.2±0.3 | 磷/硼 | √ | √ | ≤20% |
≤1×1018 |
≤5×1016 |
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4” |
0.001-55 | 按照业主追求 | <111> | ＞100 | 101.6±0.3 | 磷/硼 | √ | √ | ≤20% |
≤1×1018 |
≤5×1016 |
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5” |
0.001-55 | 只能根据顾客让 | <111> | ＞100 | 125±0.3 | 磷/硼 | √ | √ | ≤20% |
≤1×1018 |
≤5×1016 |
